FAB是指半導(dǎo)體制造的工廠，目檢燈是指用于半導(dǎo)體材料表面缺陷或者晶圓缺陷檢測(cè)的設(shè)備。在半導(dǎo)體制造的環(huán)境中（FAB），黃綠光表面檢查燈是專門用于玻璃、晶圓燈材料的表面缺陷檢查工具。

FAB場(chǎng)景下和其中核心技術(shù)上的細(xì)節(jié)上的應(yīng)用特別之處：

一、設(shè)計(jì)要求和核心技術(shù)

1. 波長(zhǎng)選擇和光學(xué)原理

   濾光設(shè)計(jì)：經(jīng)過(guò)特別定制的濾光片，比如黃色濾光片。篩選過(guò)濾藍(lán)光和紫外線。避開對(duì)光敏材料干擾，比如光刻膠等。

    

   黃綠光的特點(diǎn)：波長(zhǎng)范圍在510-600納米之間。比如550納米的純綠光或者570-580納米的復(fù)合型綠光。是介于人體眼睛敏感度的峰值范圍里，那可以減少視覺疲憊，而且增加缺陷對(duì)比度。

    

2. 光源性能參數(shù)

   長(zhǎng)壽命和冷光源

   LED光源沒有發(fā)熱的問(wèn)題，不會(huì)產(chǎn)生晶圓熱變形情況。那么LED燈珠壽命可達(dá)3000小時(shí)以上，從而降低成本。

    

   均勻性和高亮度

   為確保1μm以下的微塵和劃痕的可見度，照度可以達(dá)到30-40萬(wàn)LUX。

    

3. 潔凈室的兼容性

   防靜電措施：燈體接地設(shè)計(jì)，比如金屬外殼需要接地。采用防靜電材料或者導(dǎo)電涂層，比如碳填充塑料的方式避開靜電吸附灰塵，符合GB50611標(biāo)準(zhǔn)。

    

   無(wú)塵的設(shè)計(jì)：燈體采用光滑表面的材料，比如ABS防靜電塑料。沒有孔隙的結(jié)構(gòu)，阻止積累灰塵。

    

二、FAB場(chǎng)景下的應(yīng)用特點(diǎn)：

1. 檢測(cè)缺陷的能力

   高分辨率： 可以識(shí)別1微米以下的劃痕，顆粒。比如晶圓表面的錯(cuò)位滑移線，配合腐蝕工藝，比如硝酸-氫氟酸混合液以后，用目檢燈可以清楚定位到缺陷為止。

    

   適用多場(chǎng)景性：

   除了晶圓以外，還能檢測(cè)汽車玻璃、液晶玻璃等表面的凹凸缺陷、油墨殘留于。而且支持不同情況，比如清洗后、蝕刻的在線檢測(cè)。

    

2. 和自動(dòng)化檢測(cè)的協(xié)同

   燈光參數(shù)的優(yōu)化：有些AOI設(shè)備，采用RGB三色光源，但是黃綠光目檢燈的單色高對(duì)比度特點(diǎn)無(wú)法替代，特別是在檢測(cè)透明材料的時(shí)候可以避開色偏干擾。

    

   輔助AOI設(shè)備:

   人工復(fù)核工具：目檢燈?？梢孕ｒ?yàn)自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)，AOI設(shè)備如果出現(xiàn)漏檢或者是錯(cuò)誤判斷的時(shí)候，比如，在極耳翻折檢測(cè)里，人工目檢可以補(bǔ)充智能算法的局限性。

    

3. 操作規(guī)范和合規(guī)性

   人員操作要求：燈檢工作人員需要定期進(jìn)行視力檢查，矯正視力大于等于5.0。而且在黑暗環(huán)境里適應(yīng)5分鐘以上的對(duì)比度識(shí)別能力和提升。

    

   照度標(biāo)準(zhǔn)：FAB中燈檢照度大于等于2000LUX，而黃綠光目檢燈實(shí)際照度一般遠(yuǎn)超這個(gè)要求，確保檢測(cè)的可靠性。

    

    

FAB缺陷黃綠光表面目檢燈品牌推薦：

路陽(yáng) LUYOR-3325GD 手持式黃綠光表面檢查燈：

采用大功率的LED燈珠， 36W。570-580納米黃綠光，桌面和便攜雙模式，適用于晶圓顆粒及劃痕檢測(cè)。

1. 光斑均勻，產(chǎn)品輕便，內(nèi)置鋰電池。可以手持著檢查產(chǎn)品表面的顆粒物、劃痕、手印等產(chǎn)品缺陷，也可以配合臺(tái)式支架作為臺(tái)式表面檢查燈進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間檢查。

2.  

3. 堅(jiān)固耐用、維護(hù)成本低的便攜式黃綠光表面檢查燈LUYOR-3325GD進(jìn)行光學(xué)晶圓檢測(cè)，與 100 瓦高壓汞燈相比，具有以下優(yōu)勢(shì)：

4. 輕便：沒有繁重電源箱，手持操作，方便快捷。

5. 省時(shí)：即可即用，無(wú)需等待。

6. 經(jīng)濟(jì)：光源壽命長(zhǎng)達(dá)50000小時(shí)，無(wú)須頻繁更換燈泡。

7. 光斑均勻，檢查效率高，減少漏檢。

8. 安全：長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行，不發(fā)燙，沒有燙傷危險(xiǎn)。

9. 高效：led光源，發(fā)光效率高，節(jié)省能源。

10. 光譜純正：不會(huì)產(chǎn)生紫外線。

     
    

FAB缺陷黃綠光表面目檢燈的顆粒檢測(cè):減少晶圓生產(chǎn)/半導(dǎo)體生產(chǎn)中的污染 除了晶圓檢測(cè)過(guò)程中的目視表面檢測(cè)，即通過(guò)黃光燈或綠光燈進(jìn)行部分自動(dòng)化的晶圓檢測(cè)外，許多半導(dǎo)體制造商還有進(jìn)一步的要求： 使用測(cè)試燈檢查系統(tǒng)中的顆粒污染 使用黃光表面檢查燈或UV-LED紫外線燈進(jìn)行粒子檢測(cè) 晶圓生產(chǎn)過(guò)程中潔凈室中質(zhì)量控制的顆粒檢查 搜索并查找用于清潔半導(dǎo)體生產(chǎn)中機(jī)器的顆粒 在持續(xù)的質(zhì)量控制過(guò)程中清潔和保持生產(chǎn)設(shè)備的清潔 在大多數(shù)情況下，顆粒檢測(cè)只能通過(guò)人工檢查進(jìn)行，因此可以使用便攜式黃綠光表面檢查燈進(jìn)行檢測(cè)。